微观装置的制造及其处理技术
  • 一种二维MXene功能化的InxGa1-xN纳米柱及其制备五星体育与应用与五星体育
    本发明涉及inxga1-xn纳米柱、能源与催化领域,特别涉及一种二维mxene功能化的inxga1-xn纳米柱及其制备五星体育与应用。光电化学(photoelectrochemical,pec)分解水制氢能够将太阳能有效地转换和存储为清洁的、可再生的氢能,是解决目前的能源危机最为有前景的手段之...
  • 一种陶瓷基微热板及其制备五星体育与五星体育
    本发明涉及电子器件制造,更具体的说,涉及一种陶瓷基微热板及其制备五星体育。基于硅微加工技术的微热板(microhotplate,mhp)是微电子机械系统(mems)中常用的加热平台,已广泛应用于微型气体传感器、微型热式流量计、微型红外探测器以及气压计等微器件。微热板的基本结构包括悬空介...
  • 改进的应力去耦微机电系统传感器的制作五星体育
    本公开涉及传感器领域,更具体地,涉及改进的应力去耦微机电系统传感器。微机电系统(mems)传感器包括小型化的机械和机电元件,它们进行操作以执行感测功能。例如,mems传感器可包括机械结构(例如,膜),其耦合至电气换能器系统(例如,基于电容检测或压阻)以提供感测功能。这种mems传感器的示例...
  • 一种带功能层的陶瓷基微热板及其制备五星体育与五星体育
    本申请要求于2018年06月29日提交中国专利局、申请号为201810715807.1、发明名称为“一种硅基陶瓷基板及其制备五星体育”的中国专利申请的优先权,其全部内容通过引用结合在本申请中。本发明涉及电子器件制造,更具体的说,涉及一种带功能层的陶瓷基微热板及其制备五星体育。基于硅微加工技...
  • 微机电传感器封装结构的制作五星体育
    本实用新型涉及微机电传感器,更具体地,涉及一种微机电传感器封装结构。微机电传感器组件的封装具有不同功能。封装保护组件免受机械的和化学的环境影响。此外,封装的结构类型确定了如何安装和接通所有组件。在此结构中特别重要的是壳体。在微机电传感器中,壳体承担着一部分传感器功能,起到传递和缓冲...
  • 一种高长径比的微米柱阵列、其制备五星体育和应用与五星体育
    本发明涉及微纳加工,具体涉及一种高长径比的微米柱阵列、其制备五星体育和应用。壁虎几乎可以粘附或者行走在任何表面上,无论表面是潮湿还是干燥,光滑或者粗糙,坚硬或者柔软;这种突出的粘着力和摩擦力主要归功于壁虎脚具有复杂的多尺度多层次纤维结构。这种从宏观到微纳米尺度的分级结构使得壁虎脚趾在压...
  • 一种压电MEMS结构亲水性硅硅直接键合工艺的制作五星体育
    本发明属于mems(微机电系统),具体涉及一种压电mems结构亲水性硅硅直接键合工艺。压电材料具备压电效应或者逆压电效应,能够实现电能与机械能之间的相互转化,将其应用于mems领域开发出的压电mems结构通过单片即可实现驱动、传感、能量收集等功能,是应用潜力巨大的热点技术。包含压电...
  • 半导体装置封装和其制造五星体育与五星体育
    本公开涉及与微机电系统(mems)相关联的半导体封装结构。mems装置可包含微处理器和与例如微传感器、微镜、振荡器、谐振器、rf开关、表面声波(saw)滤波器、体声波(baw)滤波器等周围装置交互的若干组件。mem装置封装可包含与帽盖、载体或衬底接合、安装到帽盖、载体或衬底或与其组合的me...
  • 一种梁膜式PZT薄膜压电阵列打印头及其制造五星体育与五星体育
    本发明属于压电式微滴喷射打印,具体涉及一种梁膜式pzt薄膜压电阵列打印头及其制造五星体育。压电式微滴喷射打印技术在微电子制造与封装、平板显示、细胞打印、生物医学工程、3d打印等领域具有十分重要的应用,研发高效高精的压电阵列打印头对于提高微滴喷射的打印效率和打印精度具有重要的意义。采用p...
  • 微机械构件和用于制造微机械构件的五星体育与五星体育
    本发明涉及一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的五星体育。在现有技术中以各种不同的实施方式已知微机械构件及其制造五星体育。在出版物de19537814a1中例如说明了一种用于制造微机械传感器加速度传感器和转速传感器的五星体育。利用这种和类似的五星体育,产生也运动的硅结构,通过确定电容变化来测量其运动。这...
  • 微机电系统中分离的突起/凹进特征的制作五星体育
    本公开大体上涉及一种微机电系统,并且更具体地,涉及减小移动部件之间的静摩擦。数字微镜装置(dmd)是数控光微机电系统(mems)装置。在至少一个实例中,dmd是快速反射式数字灯开关。它可以与图像处理、存储器、光源和光学器件组合使用,以形成能够投影大的、明亮的、高对比度的彩色图像的投影仪。如...
  • 包括至少两个可移动元件的微器件的制作五星体育
    本发明涉及微器件领域,特别涉及微机电系统(mems)型和/或纳米机电系统(nems)型和/或微光学机电系统(moems)型和/或纳米光学机电系统(noems)型的微器件,所述微器件包括能够在外部行为(机械的、电气的、磁性的)的作用下相对于该器件的固定部分移动的移动元件。在下文中,术语“微器件”用于...
  • 用于轧制纳米尺度孔结构材料的轧辊及轧辊组和轧制生产线的制作五星体育
    本实用新型涉及一种轧制设备,具体的为一种用于轧制纳米尺度孔结构材料的轧辊及轧辊组和轧制生产线。公开号为cn107973268b的中国专利公开了一种一种纳米及微米孔的加工五星体育,包括如下步骤:步骤一:用去离子水清洗基材,并用等离子清洗机清除其表面脏污;步骤二:在基材上旋涂光刻胶,曝光、显影,形...
  • 压电型微机电致动器装置和便携式电子装置的制作五星体育
    相关申请的交叉参考本申请要求2017年11月27日提交的意大利专利申请第102017000135836号的优先权,其内容在法律允许的最大范围内通过引证引入本文。本文描述的技术涉及基于压电技术的致动器装置以及包括致动器装置的设备,特别是压电型微机电致动器装置和便携式电子装置。具体地,在下文中将参考通...
  • 具有堆叠止动元件的MEMS和NEMS设备的制作五星体育
    本发明属于机电设备的,特别是mems(微米机电系统)或nems(纳米机电系统),尤其是包括毫米、微米甚至是纳米尺寸的可移动元件并被电极化的器件,例如静电传感器或致动器。在mems设备中,经常使用吸引力或排斥力,特别是静电的相互作用来获得电功能例如致动或检测。静电致动器的简单形式本身...
  • 具有堆叠止动元件的MEMS和NEMS设备的制作五星体育
    本发明属于机电设备的,特别是mems(微米机电系统)或nems(纳米机电系统),尤其是包括毫米、微米甚至是纳米尺寸的可移动元件并被电极化的器件,例如静电传感器或致动器。在mems设备中,经常使用吸引力或排斥力,特别是静电的相互作用来获得电功能例如致动或检测。静电致动器的简单形式本身...
  • Bosch工艺的工艺参数的监控五星体育、系统和存储介质与五星体育
    本发明涉及半导体制造,具体涉及一种bosch工艺的工艺参数的监控五星体育、一种bosch工艺的工艺参数的监控系统以及一种计算机可读存储介质。随着微机电系统(micro-electro-mechanicalsystems,mems)产品的多样化,出现了一种bosch工艺,该bosch工艺...
  • 一种在衬底上制作悬浮红外热堆的五星体育与五星体育
    本发明属于硅微机械传感,特别是涉及一种在衬底上制作悬浮红外热堆的五星体育。随着mems技术的迅猛发展,基于mems微机械加工技术制作的红外探测器以其尺寸小、价格低等优势被广泛应用于热电堆红外探测器现已广泛应用于非接触测温、气体传感、安保、卫星姿态控制、红外成像等领域。热堆红外探测器相比...
  • 电气装置及其制造五星体育与五星体育
    本公开大体上涉及一种电气装置及其制造五星体育。更明确地说,本公开涉及一种包含膜的电气装置及其制造五星体育。在一些电气装置(例如批量声波(baw)滤波器、微电机械系统(mems)等)中,在裸片的中间需要膜(例如谐振器膜)或薄膜。为了避免不利地影响电气装置的性能,膜应从任何其它物理隔离(例如需要用于所...
  • 自动解键合机的制作五星体育
    本实用新型涉及一种解键合机,尤其是一种自动解键合机,属于微纳米的。在mems领域,解键合是一种常用的加工五星体育,通常是将已经用胶粘在一起的衬底通过热滑移的方式,将两片衬底重新分离。解键合工艺过程中要始终保证上下吸盘平行,否则会导致衬底碎裂或不能完成衬底分离,目前的解键合机难以满足解键...
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